紫外臭氧清洗機是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。它常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用，該設備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。
臭氧清洗機設備已經用于納米技術，化學，生物學，光學，電子學，半導體和其他全球范圍內的科學實驗室。
紫外臭氧清洗機的特點：
1、UVO基礎型采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
2、自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3、數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
4、可隨時手動中斷處理過程。
5、自動記錄之前清洗參數設置。
6、樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
8、上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
9、樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
10、UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。
11、高強度UV燈源，波長185nm和254nm。
12、UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13、雙重安全保護，當清洗腔打開時，系統安全鎖會關掉UV燈，并有燈光通斷提示。
14、帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。
15、UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16、可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。
